拋光氧化鋁拋光性能的研究

    今天要給大家介紹的是影響拋光氧化鋁拋光性能的一些因素，探索了拋光工藝參數(shù)對去除量的影響,即拋光壓力、拋光時間和下盤轉(zhuǎn)速與材料去除量的關系進行了研究。

　　1、外加壓力對去除量的影響

　　拋光壓力是拋光工藝中的一個重要的參數(shù)。壓力增大時,工件所受到的切向力增大,拋光顆粒對玻璃基片碰撞加強,即機械研磨作用增強,材料去除量隨之增大。當壓力過高時拋光墊貯存拋光液的能力下降,漿料傳輸速率降低,反而使去除量降低。

　　2、拋光時間對去除量的影響

　　材料去除量隨著時間的延長而增大;在拋光前期(60min內(nèi)),去除量很大,后段時間材料去除量變化趨于平緩。這是因為在拋光前期,基片表面粗糙峰較多,拋光去除的多是基片表面的粗糙峰,從而去除量大；隨著拋光時間的延長,基片表面去除量增大,其表面粗糙度減小,相應粗糙峰也減少,去除越來越慢,從而引起去除量增加也比較緩慢。

　　3、下盤轉(zhuǎn)速對去除量的影響

　　下盤轉(zhuǎn)速對材料去除量的影響與壓力對材料去除量的影響變化趨勢相近,隨著下盤轉(zhuǎn)速的提高,材料去除量先增大后減小。